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结合“自上而下”和“自下而上”技术构建微纳米器件是目前纳米科学和技术领域追逐的目标之一。本文首先采用硅氢化反应在硅表面共价偶联引发聚合的活性基团，接着实施表面原子转移自由基聚合（ATRP）反应形成高分子刷poly（PEGMA），采用“自上而下”的光刻技术在硅表面制备功能化的图案．最后利用“自下而上”的DNA自组装技术在图案部分原位生长DNA纳米管。上述组装过程通过多次透射反射红外光谱、凝胶电泳、透射电镜和扫描电镜进行了检测，证实了硅芯片表面定位生长DNA纳米管的可行性。