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期刊论文
压阻式加速度传感器的补偿技术的研究
压阻式加速度传感器的补偿技术的研究
来源 :仪表技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhenghaiwei
【摘 要】
:
对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差,温度漂移和动态特性等进行了分析研究,给出了它们的补偿原理及其实现方法。
【作 者】
:
朱目成
【机 构】
:
西南工学院
【出 处】
:
仪表技术
【发表日期】
:
2000年4期
【关键词】
:
压阻式加速度传感器
零点误差
SensorMicrosilicon accelerometerCompensationTemperature compensat
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对扩散硅压阻式加速度传感器的零点误差,温度漂移和动态特性等进行了分析研究,给出了它们的补偿原理及其实现方法。
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