激光三角测头动态特性的研究

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在高准确度的激光三角位移测量中,激光三角测头动态滞后对测量准确度有很大影响。要正确处理测量速度与测量准确度的关系,必须研究测量速度与被测面形状之间的关系。本文利用系统辨识的方法对激光三角测头动态特性加以分析,由此得出它的状态方程,在此基础上推导出测量速度与被测点处的斜率之间的关系。 In the high-accuracy laser triangulation displacement measurement, the dynamic lag of the laser triangulation probe has a great influence on the measurement accuracy. To correctly handle the relationship between measurement speed and measurement accuracy, the relationship between the measurement speed and the shape of the test surface must be studied. In this paper, the method of system identification is used to analyze the dynamic characteristics of the laser triangulation probe, and the equation of state is derived. Based on this, the relationship between the measured velocity and the slope of the measured point is deduced.
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