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半导体器件分析仪是一款10插槽设计的模块化仪器，包含高功率、中功率、电容测量以及波形发生与快速测量模块（WGFMU）等，具有电流对电压测量（IV）、电容对电压测量（CV）、脉冲发生、快速IV测量等功能。WGFMU模块集成了任意波形发生和快速电压电流测量等能力，本文针对WGFMU模块的任意波形发生电路进行详细的设计与分析，并进行了输出波形验证。