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掺Er Al_2O_3光波导薄膜材料的制备及光学特性
掺Er Al_2O_3光波导薄膜材料的制备及光学特性
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:da_yu
【摘 要】
:
介绍了掺Er Al2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果.比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素.不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分
【作 者】
:
李淑凤
宋昌烈
李成仁
饶文雄
雷明凯
【机 构】
:
大连理工大学,大连理工大学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
光波导
Er∶Al2O3薄膜
PL特性
optical waveguide Er-doped Al_2O_3 film PL characteristics
【基金项目】
:
国家自然科学基金,辽宁省科技厅资助项目
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介绍了掺Er Al2O3光波导薄膜的四种典型制备方法的研究结果.比较铒的发光环境和发光特性,分析了影响光致发光强度和寿命的条件和因素.不同工艺制得的Er∶Al2O3薄膜,膜内成分、膜的晶相、掺杂浓度等对Er3+的发光特性均有影响.退火对发光特性及材料具有改善作用.
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