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氮化硅薄膜制备方法现状综述
氮化硅薄膜制备方法现状综述
来源 :现代技术陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:boge09
【摘 要】
:
氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的应用。本文系统综述氮化硅薄膜的性质、结构、应用及各种制备方法,并对今后的研究作了展望。
【作 者】
:
王志刚
张伟儒
李伶
王重海
【机 构】
:
山东理工大学材料科学与工程学院,北京中材人工晶体有限公司,山东工业陶瓷研究设计院
【出 处】
:
现代技术陶瓷
【发表日期】
:
2007年02期
【关键词】
:
氮化硅薄膜
制备方法
化学气相沉积
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氮化硅薄膜是一种多功能材料,在许多领域有着广泛的应用。本文系统综述氮化硅薄膜的性质、结构、应用及各种制备方法,并对今后的研究作了展望。
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