低真空扫描电镜技术在材料研究中的应用

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本文介绍了低真空电镜扫描电镜技术在材料研究中的应用。对低真空扫描电镜像与同一样品的二次电子信号成像相比,给出了观察与检测的实例。结果表明:在低真空操作模式下,可以减少荷电、降低样品污染和损坏,对多孔和含水样品可以得到理想的电镜照片,为一些材料的微观形态观察提供了一种新的手段。
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