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论述了亚微米精度工作台动态重复精度测量的新原理及方法．其精度达±０．０２～±０．０８μｍ．
精密工作台重复精度的测量
【摘 要】
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论述了亚微米精度工作台动态重复精度测量的新原理及方法．其精度达±０．０２～±０．０８μｍ．
【机 构】
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清华大学,北京工业大学
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1995年4期
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