2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 共溅射W—Si薄膜的快速热退火及其热氧化研究

共溅射W—Si薄膜的快速热退火及其热氧化研究

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaomai1212

【摘 要】

：

淀积在SiO₂上的共溅射W-Si 薄膜,在高纯N₂中经200—1100℃的10秒钟快速热退火,用转靶X射线衍射、激光喇曼光谱、俄歇电子能谱、扫描电子显微镜、透射

【作 者】

：

陈存礼 李建年 华文玉 

【机 构】

：

南京大学物理系,华东工学院应用物理系南京210008,南京210008

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

1991年4期

【关键词】

：

W-Si薄膜 溅射 热退火 热氧化 

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

淀积在SiO₂上的共溅射W-Si 薄膜,在高纯N₂中经200—1100℃的10秒钟快速热退火,用转靶X射线衍射、激光喇曼光谱、俄歇电子能谱、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、四探针测量等不同手段研究了钨硅化物的形成.565℃退火出现了W₅Si₃相,退火温度高于755℃,稳定相WSi₂

其他文献

红泥填弃硬聚氯乙烯电线管的研制

期刊

聚氯乙烯电线管红泥

高校科研经费管理改革方案的实证研究

高校科研经费管理中存在的问题早已引起重视,许多高校已经采取了一定的措施,制定了改革方案,但这些方案并不完善.本文以实证的方式进行研究,通过具体的事件,分析了高校科研经

期刊

科研经费管理改革实证研究

公允价值计量在会计核算中的应用及相关问题研究

本文首先对企业的会计核算计量方法进行了简单阐述，之后对公允价值计量模式在会计核算中的运用进行分析，最后对公允价值计量模式在会计核算中出现的问题进行探究。

期刊

会计核算方法运用公允价值计量问题

武钢热轧地下卷取机的改造

详细介绍武钢热轧厂地下卷取机的改造情况，包括侧导板、夹送辊卷筒、助卷辊等及控制系统。改造后的设备取得了较好的生产效果。

期刊

热轧卷取机夹送辊技术改造液压伺服WT6BZ]HotRollingCoilerPinchRollTechnicalReformHydraulic

沙钢与浦项合资企业张浦不锈三期工程竣工投产

张浦不锈三期扩建工程是该合资企业在原有冷轧不锈钢薄板生产基础上扩建的不锈钢热轧板卷项目，即是张家港浦项一期、二期工程的增资项目，总投资约6亿美元，目标年产不锈热轧钢板6

期刊

不锈钢薄板工程竣工合资企业三期扩建工程投产热轧板卷生产基础二期工程

浅谈基于行政事业单位内部控制规范的医院预算内控建设

在医院的预算内控建设过程中，一方面，应当健全预算管理制度，规范岗位职能。另一方面，提高预算编控能力，即在做好预算编制风险防范的前提下，对预算的编制进行规范化控制。不仅要对预

期刊

行政事业单位内部控制医院预算内控建设

Ⅵ聚苯硫醚树脂及其应用

期刊

JFE向中国和欧洲提供高级镀锌板

JFE公司已经建立了具有高度润滑性能的镀锌层扩散处理钢板（JAZ）的供应体系，这种钢板是JFE公司去年在中国、日本、欧洲推出的，目的是满足日本汽车制造商日益增长的需求。JFE公司在

期刊

JFE中国欧洲镀锌板汽车制造商连续镀锌线供应体系扩散处理

八省涉农资金“整”得好中央奖励每省八千万

6月5日，财政部宣布，为表扬激励部分贫困县在涉农资金整合方面取得较好成效，中央财政安排6.4亿元资金，对8个省份予以奖励。获奖省份为安徽、河南、湖南、重庆、四川、云南、陕西和

期刊

资金奖励中央财政部贫困县

深冷处理后低碳马氏体的形态和回火特性研究

采用金相、扫描电镜、原子力显微镜等手段,观察研究深冷处理对16Mn钢低碳马氏体形态和回火特性的影响.结果表明:深冷处理引起马氏体微分解和超低细碳化物核心形成,使马氏体条

期刊

16MN钢深冷处理低碳马氏体原子力显微镜回火Mn SteelCryogenic TreatmentLow Carbon MartensiteAt