【摘 要】
：
针对氧化物工艺形成的钝化层通孔柱状不良进行系统研究,发现通孔柱状不良发生的根本原因,并找到了有效改善措施。通过对比两种不同设计的通孔出现的差异推测通孔柱状不良可能
论文部分内容阅读
针对氧化物工艺形成的钝化层通孔柱状不良进行系统研究,发现通孔柱状不良发生的根本原因,并找到了有效改善措施。通过对比两种不同设计的通孔出现的差异推测通孔柱状不良可能与膜层结构相关,对相应的膜层进行去除验证,确定了通孔柱状不良为1ITO膜层导致。通过扫描电镜发现1ITO刻蚀后仍然有小颗粒ITO残留,对通孔柱状不良提出合理解释。最后在通孔柱状不良形成机理上,提出了有效改善措施。ITO结晶物无法被刻蚀液刻蚀,残留的ITO结晶物阻挡SiO2刻蚀,从而形成通孔柱状不良。ITO一旦结晶,延长1ITO刻蚀时间也不能改善柱
其他文献
[目的]了解医院各职能部门和临床科室对护理工作的满意度,为护理工作的持续改进提供参考依据。[方法]采用护理部自行设计的护理工作满意度调查表,对全院各职能部门和临床科室
为了解南充市蓬安县规模化鸡场大肠杆菌的耐药性,从而指导兽医在临床上对鸡大肠杆菌的防治。本研究对蓬安县规模化养鸡场分离的310株大肠杆菌采用纸片扩散法对其进行耐药性分
端头支架、超前支护支架在桃园煤矿综采工作面中的应用,彻底解决了原支护方式存在的诸多问题,有效地加强了项板管理,优化了回采工艺,确保了安全生产,为矿井持续健康发展奠定
随着经济全球化和知识化的不断发展，专利与经济发展的关系越来越紧密，基于专利的国际竞争也越来越激烈。在分析世界经济技术发展趋势与困境的基础上，对国际专利发展态势及特征进
基于我国高新技术产业的投入和产出统计数据，利用熵权系数法为各评价指标确定一个熵权，通过乘法算子集结此熵权和c酞模型值的自由权重，从而建立带有熵权约束的DEA模型（E-DEA模型），
基于批评性话语分析理论,选取《艾伦秀》作为研究对象,探讨该节目访谈环节中主持人和嘉宾使用的问句类型、频率以及功能,揭示双方之间的权势关系。研究发现,权势关系可以由问
通过对大连某高校科研团队知识共享现状及其障碍因素的实际调查,发现高校科研团队知识共享的障碍来自团队成员自身因素、团队内部知识结构、团队共享手段缺乏、团队管理环境
对压力性损伤及风险病人营养管理方案研究进展进行综述,以期为住院期间及出院后的压力性损伤及风险病人制订以营养筛查、评估诊断、营养支持及监测随访的全程营养管理方案提
金属氧化物薄膜晶体管(MOTFT)具有较高的载流子迁移率(10~100 cm2/V·s),且薄膜均匀性好、制备温度低和可见光透明的优点,被认为是最有前途的新一代TFT。激光退火因具有
从培训对象、培训方式、课程设置、考核方式、培养目标等方面介绍国际护士处方权的教育培训现状,并叙述我国在借鉴国外教育模式过程中涉及的关于护士处方权教育的内容,以期为