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研究了Si3N4陶瓷材料的氧化行为,同时探讨了通过表面处理使Si3N4陶瓷材料表面形成一层Si2N2O对其抗氧化性能的影响。实验结果表明,Si3N4陶瓷材料在空气中的氧化行为服从抛物线规律。另外,用X射线衍射分析(XRD)和X光电子能谱(XPS)分析验证了Si2N2O层的存在。由于形成了Si2N2O层,Si3N4陶瓷材 在1300℃下氧化100h后,氧化增重从原来的0.42mg/cm^2降低到0.2