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20世纪90年代开始，随着大规模集成电路制造企业大部分转为代工企业，境外芯片制造企业纷纷在我国内地建设、投产：2000年以前，我国内地只有3家6英寸芯片制造企业和1家8英寸芯片制造企业。到2004年，已经建成1家12英寸芯片制造企业和7家8英寸芯片制造企业，在建和拟建的有2家12英寸芯片制造企业和9家8英寸芯片制造企业。具体详见下表。