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本文就IC电子厂的规划设计和运行调试进行分析,并着重就净化,恒温恒湿,运行调试中易出现的问题进行讨论.
某IC厂空调净化系统运行调试问题分析
【摘 要】
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本文就IC电子厂的规划设计和运行调试进行分析,并着重就净化,恒温恒湿,运行调试中易出现的问题进行讨论.
【机 构】
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深圳市君立信净化系统工程有限公司
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2002年3期
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