可延展电子通用金属互连结构电学特性分析

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为探究可延展通用互连结构的不同几何参数和拉伸率在高频条件下对电学性能的影响,利用有限元法对通用互连结构金属导线的电感与拉伸率和频率之间的变化关系进行研究。利用正交试验对通用互连结构的几何参数、拉伸率和频率对交流电感的影响进行了分析。结果表明,等效圆弧半径、等效水平线段、厚度以及斜线段是对导线交流电感的主要影响因素,为可延展通用互连结构的设计和优化提供了参考依据。
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