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半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之.产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视.这已不仅仅是技术问题,而是生产制造过程管理的问题.本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法.
半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法
【摘 要】
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半导体晶圆制造企业是资本密集、技术密集型产业,晶圆制造厂也是公认生产最为复杂的工厂之.产品更新换代快、市场竞争激烈等特点使得投资者对设备产能和设备利用率高度重视.
【机 构】
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上海理工大学工业工程研究所微电子发展研究中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年9期
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