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利用自行设计的直接耦合石英管微波等离子体化学气相沉积装置,以氢气和甲烷为反应气体,沉积出八个金刚石膜样品。研究了氢气浓度对所沉积金刚石膜色度的影响。结果表明,饱和纯度和色纯度随着H2浓度的增大而升高;当H2浓度达到94.137%时,饱和纯度和色度纯度达到最大,分别为8.5%和9.5%;之后随着H2浓度的进一步升高饱和纯度和色纯度开始下降。