【摘 要】
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以镁钇掺杂的氧化锌（ＺｎＯ）陶瓷靶作为溅射靶材，采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了镁钇合掺ＺｎＯ（ＭＹＺＯ）薄膜样品．通过Ｘ射线衍射仪和分光光度计的测试表征，研究了薄膜厚度对ＭＹＺＯ样品结构性质和光学
【机 构】
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中南民族大学电子信息工程学院,中南民族大学智能无线通信湖北省重点实验室
【基金项目】
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湖北省自然科学基金资助项目（２０１１ＣＤＢ４１８）；中央高校基本科研业务费专项资金资助项目（ＣＺＰ１７００２，ＣＺＷ１４０１９）
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以镁钇掺杂的氧化锌（ＺｎＯ）陶瓷靶作为溅射靶材，采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了镁钇合掺ＺｎＯ（ＭＹＺＯ）薄膜样品．通过Ｘ射线衍射仪和分光光度计的测试表征，研究了薄膜厚度对ＭＹＺＯ样品结构性质和光学性能的影响．结果表明：ＭＹＺＯ样品均为六角纤锌矿型的多晶结构，并且其择优取向生长特性明显受到薄膜厚度的影响，当薄膜厚度为２９０ｎｍ时，ＭＹＺＯ样品具有（００２）择优取向生长特性．另外通过光学表征方法获得了ＭＹＺＯ样品的光学能隙、折射率和消光系数，结果显示：ＭＹＺＯ样品的光学能隙大于未掺杂ＺｎＯ能隙，其折射
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