【摘 要】
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随着科技的进步，半导体芯片制造业得以快速发展，但由于其制造工艺的精密性和复杂性，对工艺中所用水质要求极高。以青岛微电子产业园制造厂房为例，介绍了一种超纯水制造工艺，并对现状提出了维护措施和成本分析。经实际运行测试，该系统制备的超纯水稳定优质，节水节能效率高，保障了工艺生产所需，为同类型工业厂房纯水系统提供了参考。
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随着科技的进步，半导体芯片制造业得以快速发展，但由于其制造工艺的精密性和复杂性，对工艺中所用水质要求极高。以青岛微电子产业园制造厂房为例，介绍了一种超纯水制造工艺，并对现状提出了维护措施和成本分析。经实际运行测试，该系统制备的超纯水稳定优质，节水节能效率高，保障了工艺生产所需，为同类型工业厂房纯水系统提供了参考。
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