【摘 要】
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基于改进的分子动力学模型,研究了原子力显微镜(AFM)探针在硅表面变载荷刻划的形变特性.利用结构辨认算法显示非晶层的形成,并建立切屑分布的定量评价指标.在此基础上考察刻
【机 构】
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同济大学物理科学与工程学院,上海,200092;
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基于改进的分子动力学模型,研究了原子力显微镜(AFM)探针在硅表面变载荷刻划的形变特性.利用结构辨认算法显示非晶层的形成,并建立切屑分布的定量评价指标.在此基础上考察刻划速度、针尖半径和探针锥角对刻划效果的影响.结果表明:(1)当刻划速度小于0.3 nm/ps或大于等于1.5 nm/ps时,基底表面的切屑较少,刻划速度对沟槽表面的影响不大;(2)当针尖半径小于等于1 nm时,探针会发生磨损,当针尖半径大于等于1.5 nm时,探针发生弹性形变,针尖半径为2～3.5 nm能达到最佳刻划效果;(3)较大的锥角有利于减少基底表面的切屑分布.
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