【摘 要】
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本文介绍了一个系列光刻物镜,即标准倍率为-1倍、-1/4倍、-1/5倍和-1/10倍设计中的问题和解决途径,最后给出设计结果的调制传递函数MTF曲线.
This article describes a seri
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本文介绍了一个系列光刻物镜,即标准倍率为-1倍、-1/4倍、-1/5倍和-1/10倍设计中的问题和解决途径,最后给出设计结果的调制传递函数MTF曲线.
This article describes a series of lithography objectives, namely the standard magnifications of -1 times, -1/4 times, -1/5 times and -1/10 times the design problems and solutions, and finally gives the design results of the modulation and transmission Function MTF curve.
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