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基于压缩气体施压的纳米压印技术研究
基于压缩气体施压的纳米压印技术研究
来源 :电子世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuhuanqw
【摘 要】
:
纳米压印技术是一种新型的纳米级图形转移技术,纳来压印过程中施压和加热是两个非常重要的工艺过程。文章中设计了新型纳米压印腔室,采用超声波加热代替传统加热方式,利用压缩气
【作 者】
:
罗康
刘林飞
段智勇
【机 构】
:
华北水利水电大学,郑州大学
【出 处】
:
电子世界
【发表日期】
:
2013年14期
【关键词】
:
纳米压印
超声波加热
压缩气体施压
纳米压印腔室
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纳米压印技术是一种新型的纳米级图形转移技术,纳来压印过程中施压和加热是两个非常重要的工艺过程。文章中设计了新型纳米压印腔室,采用超声波加热代替传统加热方式,利用压缩气体产生的压力施压。超声波加热速度快,温度可控。压缩气体施压压力均匀、设计简单。
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