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ZnO 薄膜集成加速度传感器
ZnO 薄膜集成加速度传感器
来源 :中国惯性技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sundianjusdyg
【摘 要】
:
本文讨论了一种集成化的悬臂梁ZnO薄膜及超高输入阻抗运算放大器为基本组成部分的加速度传感器
【作 者】
:
张家跃
【机 构】
:
北京理工大学
【出 处】
:
中国惯性技术学报
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
加速度传感器
传感材料
ZNO薄膜
超精细加工
accelerometersensing material ZnO filmssupermeticulous m
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本文讨论了一种集成化的悬臂梁ZnO薄膜及超高输入阻抗运算放大器为基本组成部分的加速度传感器
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