化学气相沉积TiO2薄膜的XPS研究

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cheng8023jiajia

【摘要】

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通过XPS分析了TiO2薄膜的结构.薄膜是通过化学气相沉积的方法生长,有机源遇热发生分解,沉积在硅衬底上形成TiO2薄膜.XPS分析表明:所得TiO2薄膜含有Ti、C、O、Al、Si元素.各元

【作者】

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冯庆刘高斌王万录

【机构】

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重庆大学数理学院应用物理系

【出处】

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光电子技术

【发表日期】

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2003年1期

【关键词】

：

TIO2 化学气相沉积 X射线光电子能谱 TiO2 chemical vapor deposition XPS

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通过XPS分析了TiO2薄膜的结构.薄膜是通过化学气相沉积的方法生长,有机源遇热发生分解,沉积在硅衬底上形成TiO2薄膜.XPS分析表明:所得TiO2薄膜含有Ti、C、O、Al、Si元素.各元素的电子结合能与理论值并无太大的偏移,说明通过化学气相沉积法制备的TiO2薄膜,纯度高,质量好,晶型为锐钛矿.

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