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通过XPS分析了TiO2薄膜的结构.薄膜是通过化学气相沉积的方法生长,有机源遇热发生分解,沉积在硅衬底上形成TiO2薄膜.XPS分析表明:所得TiO2薄膜含有Ti、C、O、Al、Si元素.各元素的电子结合能与理论值并无太大的偏移,说明通过化学气相沉积法制备的TiO2薄膜,纯度高,质量好,晶型为锐钛矿.