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对采用KOH溶液腐蚀单晶硅制备自锐式纳米针尖的一次成型制作工艺进行了研究，为提高自锐式纳米针尖的纵横比，根据各向异性腐蚀针尖的自锐效应模型，分析了腐蚀溶液的浓度及掩模形状对针尖形状的影响，得到了提高自锐式纳米针尖纵横比的条件，实验结果表明，在15mol／L，60℃的KOH腐蚀液中采用五边形掩模可获取纵横比约等于1，针尖曲率半径小于10nm的自锐式纳米针尖，针尖侧壁由{113}晶面组成。