等离子体反应腔中电磁场的边缘效应

来源 :中国科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lulu6661125
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在等离子体反应腔内,边缘效应一直是造成等离子体分布不均匀性的重要原因之一。而等离子体分布不均匀性一直是影响基片处理的质量和产品良率的重要因素。本文试图从解决反应腔内电磁场均匀性入手,提出一种改善边缘效应所产生的电磁场分布不均匀性,来提高等离子体密度分布的不均匀性,进而提高处理基处理的质量和产品的良率。
其他文献
利用甘草滤液和甘草酸对被孢霉原始菌株进行定量处理,结果大大提高了被隐霉对γ-亚麻酸的产量,说明甘草酸对被孢霉生产γ-亚麻酸有明显的促进作用。
本文根据作者所工作医院的实际情况,并结合其他医院的普遍现象,浅谈一下在医院信息化建设中出现的一些问题,例如信息化建设缺乏院领导的重视,资金投入不足,信息系统上线缺乏
鼻腔粘膜对净化空气,调查空气温度和湿度具有重要作用。本文采用甲基丙烯酸甲酯制作血管铸型,通过扫描电镜对人鼻粘膜微血管三维构筑进行观察。
在G-度量空间的框架下,利用广义Geraghty型映射,我们建立了两个新的G-度量空间广义Geraghty型映射的不动点定理,它们在很大程度上改进和发展了已有文献的相关结果。
透明质酸是一种酸性粘多粮,其特有的粘弹性和保湿性已被用于医药与化妆品的生产中。本文以黄牛眼睛为材料,通过提取,除杂质、有机溶剂沉淀等步骤进行透明质酸的制备,并对其性质进
本文分析了75t/h循环流化床锅炉水冷壁在运行中存在的磨损问题及采取有效的措施来降低水冷壁的磨损,提高了循环流化床锅炉运行安全性、稳定性和经济性。
为制定中国健康中年男性全血比粘度参考值的统一标准提供科学依据。本文收集了中国各地毛细和法测定的健康中年男性全血比度参考值,并对其与海拔高度的关系进行了研究,发现随着
论述了多零件数控加工技术的应用现状及关键技术;介绍了西安飞机工业(集团)有限责任公司(简称西飞)在多零件数控加工领域的研究与应用,对提高数控设备利用率和加工效率、改善产
衰老是指最终导致有机体或器官死亡的变化过程,植物叶片的衰老伴随着叶绿体的破坏,光合能力的下降以及蛋白质降解等过程的发生,功能叶片的衰老对作物产量产生严重的影响[1],1957年Sacher首先提出了膜的脂质过氧化在细胞衰老中的重要作用,P.S.Dhi...
湖南椿蝠蛾是亚香棒虫草的寄主昆虫,亚香棒虫草是冬虫夏草的一种,是一种具有重要开发价值的中药材。为更发地人工栽培亚香虫草,我们对湖南棒蝠蛾进行了长期的细致的研究,本文详细