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研究了场效应纳电子晶体管构造过程中金属电极的结构设计,源-漏电极高度、SiO2绝缘层厚度以及金属电极选材等因素对器件性能有关键的影响.在此基础上测量了单壁碳纳米管束的场效应行为,构造成功基于单壁碳纳米管束的场效应晶体管.
场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量
【摘 要】
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研究了场效应纳电子晶体管构造过程中金属电极的结构设计,源-漏电极高度、SiO2绝缘层厚度以及金属电极选材等因素对器件性能有关键的影响.在此基础上测量了单壁碳纳米管束的
【出 处】
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北京大学学报（自然科学版）
【发表日期】
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2005年5期
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