【摘 要】
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利用CCD成象技术研制了一种小光束质量的实时检测系统,从理论和实验上进行了分析研究。首次完成了对半导体激光束的波差测量、这种技术是现代高科技、高精度光学检测中的一种
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系,华中理工大学光电子工程系,华中理工大学光电子工程系 武汉,464000,武汉,464000,武汉,464000
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利用CCD成象技术研制了一种小光束质量的实时检测系统,从理论和实验上进行了分析研究。首次完成了对半导体激光束的波差测量、这种技术是现代高科技、高精度光学检测中的一种有效方法。
Using CCD imaging technology to develop a real-time detection system of small beam quality, theoretical and experimental analysis was carried out. The wavefront measurement of semiconductor laser beam was completed for the first time. This technique is an effective method in modern high-tech and high-precision optical inspection.
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