【摘 要】
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本文介绍了离子镀技术按仪器装置、蒸发介质和迁移方式所作的分类,并对低真空技术(等离子)和高真空枝术(离子束)进行了区分。本文在基本理论方面和工业方面讨论了离子镀技术
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本文介绍了离子镀技术按仪器装置、蒸发介质和迁移方式所作的分类,并对低真空技术(等离子)和高真空枝术(离子束)进行了区分。本文在基本理论方面和工业方面讨论了离子镀技术。在基本理论方面评价了等离子体(蒸发流)的能力和限度以及膜层特性。在工业方面计论了离子镀膜的性能和潜在的用途。
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