【摘 要】
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微位移和直线度误差作为工业测量中重要的几何参数,其测量值对精密仪器的制造与检测有着广泛应用。但随着工业技术发展,就传统测量仪器自准直仪而言,存在精度不高、实时性不
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,中国科学院上海技术物理研究所
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微位移和直线度误差作为工业测量中重要的几何参数,其测量值对精密仪器的制造与检测有着广泛应用。但随着工业技术发展,就传统测量仪器自准直仪而言,存在精度不高、实时性不强、速度慢等缺点,无法完全满足当下高速、高精度、实时监测的的要求,提出一种基于LabVIEW的高精度激光干涉测距系统,对位移位置和直线度进行测量与分析。基于双频激光干涉测距原理,设计了光电测距仪测量得到带位移信号的光信号,经光电转换得到电信号,利用LabVIEW平台编写操作界面和数据处理与误差分析。对系统进行实验,表明对长度30cm导轨检测,相对
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