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改善UHV/CVD外延生长环境提高GeSi/Si材料性能有效方法
改善UHV/CVD外延生长环境提高GeSi/Si材料性能有效方法
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaozhui221
【摘 要】
:
本文阐述了应用国产UHV/CVD设备处延生长的GeSi/Si材料碳、氧含同的原因,定量地分析了有害残余气体的成分,提出了改善处延生长环境提高GeSi/Si材料性能的有效方法。
【作 者】
:
雷震霖
于卓
【机 构】
:
中科院沈阳科学,心
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1999年A10期
【关键词】
:
超高真空
CVD
外延
残余气体
硅
锗
材料性能
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本文阐述了应用国产UHV/CVD设备处延生长的GeSi/Si材料碳、氧含同的原因,定量地分析了有害残余气体的成分,提出了改善处延生长环境提高GeSi/Si材料性能的有效方法。
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