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利用直流反应磁控溅射的方法在玻璃衬底上沉积了（002）方向高度择优生长的纤锌矿结构的Zn1-x Cdx O（x =0，0.2）合金薄膜.利用 XRD、XPS、TEM、PL 对薄膜的结构和光学性能进行了详细研究.结果表明，随着 x =0到 x =0.2，（002）衍射峰从34.36°偏移到33.38°，（002）方向的晶面间距从0.260 nm 增加到0.268 nm，Zn1-x Cdx O 薄膜的光学带隙也从3.20 eV 减小到2.70 eV，相应的近带边发光峰从393 nm 红移到