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本文在改装的GDM－300BN型高真空镀膜机上，应用流辉光放电淀积法，成功地制备出性能良好的DLC膜，研究了DLC膜的显微硬度、耐磨性随着强度、磨擦系数等性能指标，用透射电镜和激光喇曼光谱对DLC膜的结构进行了分析。
直流辉光放电法淀积DLC膜的性能和结构研究
【摘 要】
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本文在改装的GDM－300BN型高真空镀膜机上，应用流辉光放电淀积法，成功地制备出性能良好的DLC膜，研究了DLC膜的显微硬度、耐磨性随着强度、磨擦系数等性能指标，用透射电镜和激光喇曼
【机 构】
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西北工业大学
【出 处】
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西北工业大学学报
【发表日期】
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1991年3期
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