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介绍了金刚刀切割、激光表面切割及激光隐形切割在蓝宝石衬底发光二极管芯片切割中的应用情况，对比和分析了不同切割技术的优缺点。隐形切割技术由于具有切割效率高、切割道小，芯片侧面损伤小等优点，解决了芯片加工效率低的问题，并提高了芯片的亮度和可靠性。
蓝宝石衬底发光二极管芯片切割技术研究
【摘 要】
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介绍了金刚刀切割、激光表面切割及激光隐形切割在蓝宝石衬底发光二极管芯片切割中的应用情况，对比和分析了不同切割技术的优缺点。隐形切割技术由于具有切割效率高、切割道小
【机 构】
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西安中为光电科技有限公司,陕西 西安,710065
【出 处】
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经营者
【发表日期】
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2014年8期
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