【摘 要】
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基于MEMS新型惯性传感器件的基础理论与结构设计研究,建立基于SOI材料的电容式MEMS加速度计模型理论,并总结出国内外MEMS加速度计的发展趋势,为其进一步研究提供一定的理论依
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
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基于MEMS新型惯性传感器件的基础理论与结构设计研究,建立基于SOI材料的电容式MEMS加速度计模型理论,并总结出国内外MEMS加速度计的发展趋势,为其进一步研究提供一定的理论依据。
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