论文部分内容阅读
基于MEMS新型惯性传感器件的基础理论与结构设计研究,建立基于SOI材料的电容式MEMS加速度计模型理论,并总结出国内外MEMS加速度计的发展趋势,为其进一步研究提供一定的理论依据。
MEMS加速度计的发展趋势研究
【摘 要】
：
基于MEMS新型惯性传感器件的基础理论与结构设计研究,建立基于SOI材料的电容式MEMS加速度计模型理论,并总结出国内外MEMS加速度计的发展趋势,为其进一步研究提供一定的理论依
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,
【出 处】
：
硅谷
【发表日期】
：
2010年19期
其他文献
在总结对日软件外包项目开发和管理实践经验的基础上,结合软件工程、CMMI和项目管理的基本思想,吸收现有的软件外包项目管理模式和规范,引入一些对日软件外包企业比较成熟的
<正>一、特色农业的内涵特色农业就是将区域内独特的农业资源,开发区域内特有的名优产品转化为特色商品的农业。特色农业的关键之点就在于"特",其具体表现在如下三个方面:一
目的：对针灸临床中痛症的止痛治疗，分析其机理。方法：采用单针单穴治疗“以移其神”达到“住痛移疼”的目的。结果：即刻止痛。结论：疗效可靠，值得推广应用。
江苏国华陈家港发电有限公司2号锅炉排烟温度偏高,且两侧排烟温度偏差大,为此展开了技术分析,指出导致排烟温度高的因素主要有一、二次风对空气预热器冷却不足,硫酸氢铵黏结
针对2013届本科毕业论文工作问卷调查中所发现的问题,该课题组进行了一年多行之有效的探索和研究。首先将基础英语写作、高级英语写作与学术英语写作看成本科论文写作能力培
包拯生前受人尊敬,逝后为世人所称颂.不同时代的民众对历史记载中的包拯及其事迹不断进行加工改造,从而形成了人人耳熟能详的包公传说.包公传说在长期的流传中,发生了明显的
微耕机是山区农村普及推广运用于农田作业的小型微耕机械,它既适用又方便快捷,是农民发展生产和致富的好帮手,也是单缸柴油发动机械。柴油发动机相比汽油发动机的点火系统要
光纤通信是利用光波作载波,以光纤作为传输媒质将信息从一处传至另一处的一种通信方式,光纤通讯技术以其独特的优势得到了快速的发展。文章简要的介绍了光纤通讯技术,并对此
“出行”作为一种文化的积淀,深深地植入了中美两个民族的深层无意识中。对于中美两个民族来说,“在路上”已经不仅仅是一个在地域上从出发地到目的地的过程,而是被视为对某