【摘 要】
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三氟化氮(NF3)是一种重要的电子气体和常用的氟化剂,广泛应用于微电子工业领域中。介绍了NF3气体检测技术的发展现状,对比分析了各种技术的优缺点,展望了NF3气体检测仪的未来
【基金项目】
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广东省省级科技计划项目(2016A040403072)
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三氟化氮(NF3)是一种重要的电子气体和常用的氟化剂,广泛应用于微电子工业领域中。介绍了NF3气体检测技术的发展现状,对比分析了各种技术的优缺点,展望了NF3气体检测仪的未来发展趋势。目前针对NF3较为成熟的检测器主要是催化热裂解/电化学原理气体传感器、超高温裂解/电化学原理气体传感器和气相色谱仪,其中热裂解/电化学原理气体传感器检测存在精度不高且需要考虑尾气处理的问题,不是一种理想的检测技术,气相色谱仪受限于较差的便携性及复杂的调试程序,因而主要用于实验室中的气体分析,而基于非色散红外(NDIR)及傅里
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