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用改善的溶胶凝胶（Sol—Gel）法制备了钛酸锶钡（Ba0．6Sr0．4TiO3，BST）薄膜，研究了退火温度对薄膜晶化及介电性能的影响。X射线衍射表明，由于薄膜较薄，各温度下衍射峰强度均微弱，但呈（110）择优取向，随温度的升高峰强度逐渐增加，也出现其他晶向的衍射峰。扫描电镜和原子力显微镜表明，改善的BST薄膜表面形貌光滑致密、无裂纹、无缩孔，随温度的升高薄膜晶化增强、晶粒逐渐长大、粗糙度增加。40V外加电压下的介电性能大幅度提高，介电调谐率大于30％，介电损耗约0．02，其中，650℃对应介电调谐率4