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本文静和共焦显微拉曼系统原位观察了Ｓｉ（１００）表面氢终端原子在 氢氟酸中的变化过程。研究表明：在硅片浸入氢氟酸溶液的初期，表面主要被三个氢原子的结合体以及硅和两个氢原子的结合体所覆盖。随着腐蚀过程的延长，Ｓｉ－Ｈ３越来越少，Ｓｉ－Ｈ２的信号不断增强，并且，硅和单个氢原子的结合体（Ｓｉ－Ｈ）的信号也开始出现。最终，硅表面主要被Ｓｉ－Ｈ２所覆盖，有少量Ｓｉ－Ｈ３和Ｓｉ－Ｈ键。本文还表明，拉曼光谱用来