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首次提出了将遗传算法（ＧＡ）和为尺度法（ＤＦＰ）相结合的电子光学系统设计的组合优化方法。该方法首先用模拟自然界生物进化过程扣全局优化搜索方法－－ＧＡ以像差系数为目标函数进行优化，得到电子光学系统轴上电位分布，然后根据上述轴上电位分布以解析法中的ＤＦＰ变尺度法进行优化，求出系统的几何结构参数和电参数。通过对等径四电极扩展场静电镜（４ＥＦＬ）的优化设计，表明了方法具有较高的效率及寻优可靠性。