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FSI国际有限公司最近宣布，已经收到对其300-mmZETA喷雾式清洗系统的继续订货。一家位于台湾的先进集成电路制造商将再次采购的这套系统用于90nm技术节点的前段(FEOL)表面处理。另外一家主流的微处理器制造商继续定购的ZETA系统将用于后道应用。
FSI国际收到国际客户对其ZETA喷雾式清洗系统的继续订货
【摘 要】
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FSI国际有限公司最近宣布，已经收到对其300-mmZETA喷雾式清洗系统的继续订货。一家位于台湾的先进集成电路制造商将再次采购的这套系统用于90nm技术节点的前段(FEOL)表面处理
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年2期
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