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超声椭圆振动切削技术（ultrasonic elliptical vibration cutting，UEVC）是近年来发展起来的一种超精密加工技术，其加工装置的结构设计是当前研究的难点之一。通过分析现有的超声椭圆振动切削装置，设计了一种基于圆弧型柔性铰链结构的超声椭圆振动装置，利用有限元分析工具对该装置进行模态分析，找出了影响其谐振频率的关键结构参数并用全局优化模块优化参数，使装置的某一阶纵振和弯振模态的谐振频率一致，同时，对该装置进行了多场耦合分析以预测不同相位下的刀尖运动轨迹。仿真分析表明，后盖板长