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和平行光照射遮光物体产生的实边缘相比,全反射现象中半明半暗视场的分界线处的虚边缘情况更为复杂。使虚边缘质量有明显下降的主要因素有3个:光的色散、高频噪声和CCD光敏元处于临界状态所带来的问题。使用基于图像处理的测量方法,采用CCD作为成像器件,获取虚边缘附近的灰度图像。应用改进后的基于一阶微分期望值的亚像素边缘检测算法,可以快速、精确地检测到边缘的位置。经过实验验证,该方法的测量精度优于1个像素,并且具有良好的重复性。