切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备
发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuyongqiang615
【摘 要】
:
分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸.采用湿法腐蚀方法对金属层、p-GaP层及多层AlGaInP进行了逐层腐蚀,完成了宽2 μm深6 μm的上隔离沟槽的制作.腐蚀后的上隔离沟槽
【作 者】
:
金霞
梁静秋
李佳
赵莉娜
王维彪
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
微显示器件
发光二极管阵列
隔离沟槽
湿法腐蚀
欧姆接触
ALGAINP
GAP
microdisplay device
LED arrays
isolat
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸.采用湿法腐蚀方法对金属层、p-GaP层及多层AlGaInP进行了逐层腐蚀,完成了宽2 μm深6 μm的上隔离沟槽的制作.腐蚀后的上隔离沟槽边缘平整,其深度和宽度可以解决注入电流在相邻像素之间产生的干扰问题.
其他文献
培养学生数学应变能力
期刊
中学数学
数学教学
数学应变能力
变换问题
旅游企业管理专业学生担任社会工作有助于人才的培养
高等学校的首要任务是为社会主义现代化建设培养合格的专门人才。旅游企业管理专业的学生毕业以后,按教学计划的要求和毕业生使用方向,可在涉外饭店、宾馆、旅行社等旅游企业
期刊
企业管理专业
大学专科
德智体全面发展
经济论证
现代化建设
大饭店
工作能力
榕湖饭店
教学计划
饭店管理
家庭教育与孩子的健康成长
学龄期儿童除了在学校接受一定时间的教育外,大多数时间是在家庭中渡过的。因此,家庭环境对孩子的学习,家庭教育对学校教育的影响是不容忽视的。目前家庭教育的优势和误区我国家
期刊
家庭教育
个性特征
健康成长
家庭文化氛围
家庭环境
学龄期儿童
环境因素
《中国大百科全书》
学校教育
家庭活动
帕米尔南部花岗岩类岩块深部形态的研究
帕米尔南部褶皱系中的侵入岩,主要是中生代花岗岩类,其露头面积达8千多平方公里,即占区域面积的20%。花岗岩类介于花岗岩和花岗闪长岩之间。其特点是富含硅酸、氧化铝,碱性,铁
期刊
SU—8胶与基底结合特性的实验研究
SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸造出金属微结构,通常需要采用金属基底。但SU-8胶对金属基底的结合力通常不好
期刊
SU-8胶
基底结合特性
高深宽比
UV-LIGA
结合性
微机电系统
s:SU-8 resist
high aspect ratio
UV-LIGA
a
MEMS中几何量的测试方法
MEMS测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,讨论了应用于MEMS几何量测量的微视觉、扫描探针、光切、干涉、共焦、光栅投影等方法及基于材料和微结构特性的特殊测量方法,并详细论述了在MEMS微几何量测量中的微视觉检测原理及方法。结合干涉测量技术的微视觉测试方法能够涵盖从纳米级到毫米级的几乎全部的微几何量分布范围。
期刊
微机电系统
MEMS检测
微视觉检测
MEMS
measurement of MEMS
micro-vision metrology
学校内部常见安全事故类型及对策
近年来各地中小学生安全事故时有发生,全省每年都有上百名中小学生死于各种事故。这些事故的不断发生,对教育事业的健康发展造成严重损害,对社会的稳定也产生了不利影响,由此而引
期刊
事故类型
安全工作
学校内
安全教育
学校安全
中小学生
学生安全事故
保护措施
教育行政部门
学生伤亡事故
让英语课堂充满生趣
托尔斯泰说过:“成功的教学所需要的不是强制,而是激发学生的兴趣。”小学阶段的英语教学首先要注重英语兴趣的培养。只有改革英语课堂的教学方式,真正做到寓教于乐,才能激发
期刊
英语课堂
兴趣
激发
我们有权知道危险在哪里——构建我国系列杀人案件信息披露机制的初步设想
长期以来,我国公安机关对于系列杀人等重大刑事案件一般都采取“不破不报”的态度.但此举非但没有取得预期的效果,反而促使了案件后果的升级,与此形成鲜明对比的是,在马家爵案中.警
期刊
系列杀人案件
信息披露
知情权
信息披露机制
初步设想
刑事案件
公安机关
鲜明对比
制度框架
透明度
心理学基础课中的辅导渗透
期刊
心理学
渗透
可行性
实施原则
与本文相关的学术论文