发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liuyongqiang615
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸.采用湿法腐蚀方法对金属层、p-GaP层及多层AlGaInP进行了逐层腐蚀,完成了宽2 μm深6 μm的上隔离沟槽的制作.腐蚀后的上隔离沟槽边缘平整,其深度和宽度可以解决注入电流在相邻像素之间产生的干扰问题.
其他文献
高等学校的首要任务是为社会主义现代化建设培养合格的专门人才。旅游企业管理专业的学生毕业以后,按教学计划的要求和毕业生使用方向,可在涉外饭店、宾馆、旅行社等旅游企业
学龄期儿童除了在学校接受一定时间的教育外,大多数时间是在家庭中渡过的。因此,家庭环境对孩子的学习,家庭教育对学校教育的影响是不容忽视的。目前家庭教育的优势和误区我国家
帕米尔南部褶皱系中的侵入岩,主要是中生代花岗岩类,其露头面积达8千多平方公里,即占区域面积的20%。花岗岩类介于花岗岩和花岗闪长岩之间。其特点是富含硅酸、氧化铝,碱性,铁
期刊
SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制作超厚、高深宽比的MEMS微结构。为电铸造出金属微结构,通常需要采用金属基底。但SU-8胶对金属基底的结合力通常不好
MEMS测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,讨论了应用于MEMS几何量测量的微视觉、扫描探针、光切、干涉、共焦、光栅投影等方法及基于材料和微结构特性的特殊测量方法,并详细论述了在MEMS微几何量测量中的微视觉检测原理及方法。结合干涉测量技术的微视觉测试方法能够涵盖从纳米级到毫米级的几乎全部的微几何量分布范围。
近年来各地中小学生安全事故时有发生,全省每年都有上百名中小学生死于各种事故。这些事故的不断发生,对教育事业的健康发展造成严重损害,对社会的稳定也产生了不利影响,由此而引
托尔斯泰说过:“成功的教学所需要的不是强制,而是激发学生的兴趣。”小学阶段的英语教学首先要注重英语兴趣的培养。只有改革英语课堂的教学方式,真正做到寓教于乐,才能激发
长期以来,我国公安机关对于系列杀人等重大刑事案件一般都采取“不破不报”的态度.但此举非但没有取得预期的效果,反而促使了案件后果的升级,与此形成鲜明对比的是,在马家爵案中.警