2. 您的位置
3. 首页
4. 期刊论文
5. 表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响

表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：X446873887

【摘 要】

：

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作 者】

：

韦嘉辉  周海  高晗  梁志强 

【出 处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

蓝宝石 化学机械抛光(CMP) 清洗 表面活性剂复配 超声波 

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(51675457);江苏省产学研前瞻性创新资金项目(BY2016065-55);江苏省科技成果转化项目(BA2015165)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文 赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

其他文献

苏联心理学界对活动理论的近期讨论

本文综述了近几年来苏联心理学界对A.H.列昂节夫代表的活动理论的讨论情况。其中包括三种意见,一种是支持态度,一种是持较大异议、企图用系统论取而代之的态度,一种是既不完

期刊

列昂节夫心理生活马克思主义心理学心理学报鲁宾斯坦心理学方法论方法论基础阿斯莫洛夫

三级康复训练对脑出血后上肢运动功能改善的效果

目的：研究三级康复训练对脑出血患者上肢运动功能恢复的效果。方法：选择2013年5月至2015年5月本院收治的120例脑出血患者作为研究对象,根据随机数字表法将其随机均分为常规康复

期刊

脑出血康复上肢

农业节水灌溉在花海景观营造中的影响及对策

在花海灌区,由于水资源非常匮乏,而且水资源的利用率不高,导致水资源被大量浪费,而为了能够实现水资源的循环使用,并且有效的做到节水灌溉,就有必要加强对基础水利设施的建设

期刊

花海灌区农业节水灌溉影响因素

银行运钞车GPS定位跟踪报警系统的实现

介绍唐山市银行运钞车GPS定位跟踪报警系统中的系统构成、主要功能及其所采用的一些关键技术 :DGPS、GIS、电子地图、准集群通信等 ,描述了如何利用 2台差转电台来实现数话兼容的小型通信定位报警系统。

期刊

银行运钞车GPS定位跟踪系统电子地图车载设备

通风机性能参数在线监测与通信系统

介绍一种矿井主通风机性能参数在线监测与通信系统，描述了系统的原理及组成。

期刊

通风机风量在线监测通信性能参数ventilatorair volumeon-linemonitorcommunication

卷积码用于井下漏泄移动通信系统的差错控制

针对井下漏泄移动通信系统中纠正数据传输混合差错的需求，构造了（２，１，７）卷积码，介绍了卷积码的编译原理、软件实现及交错技术，该纠错码方法具有实用价值。

期刊

感应通信卷积码井下漏池移动通信系统差错induction communicationdigital transmissioncomputer appl

情绪调节策略对压力与幼儿教师职业倦怠关系的调节作用

为探讨压力与幼儿教师职业倦怠的关系是否受到情绪调节策略(表达抑制和认知重评)的调节,采用压力量表、情绪调节策略问卷和职业倦怠问卷对567名幼儿教师进行调查。结果显示:

期刊

压力表达抑制认知重评职业倦怠pressureexpression inhibitioncognitive reappraisaljob burnout

程控调度变换机抗干扰措施的研究

介绍在空分制程控调度交换中用软件消除干扰引起的通讯交叉点误动作的技术措施及实现方法。

期刊

通信系统调度交换机程序控制稳定性抗干扰

人民币实际汇率波动影响因素研究——基于宏微观一致模型的分析

在宏微观一致的分析框架下建立了一个实际汇率的决定模型,基于理论模型和国内外的现实进行扩展,实证检验了不同因素对人民币实际汇率的作用。结果表明,人民币汇率形成机制改

期刊

人民币实际汇率波动汇率形成机制流动性巴萨效应

曾国藩读书思想对高校阅读推广的启示

清代著名政治家、军事家和理学名家曾国藩在修身、齐家、治国、平天下方面作出了表率，终其一生喜好读书，其在教子、治学中体现出来的引导阅读兴趣、为贤进德的道德情操、注重阅

期刊

曾国藩读书思想高校图书馆阅读推广