用于图像传感器制造的光刻技术

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引言任何一种数字成像的核心都是图像传感器。它的基本结构包括一个能把光转换为图像的有源像素矩阵。数码相机和带相机的移动电话带动了图像传感器需求市场的快速增长,它们已成为主要IC制造商大量生产的产品之一。制造成像阵列通常采用两种主要的工艺技术——电荷耦合器件(CCD Introduction At the heart of any digital imaging are image sensors. Its basic structure consists of an active pixel matrix that converts light into an image. Digital cameras and camera-enabled mobile phones have led the market for demand for image sensors to grow rapidly, and have become one of the mass-produced products of major IC manufacturers. Manufacturing imaging arrays typically employ two main process technologies - Charge Coupled Devices (CCDs)
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