【摘 要】
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A new type of three-finger micro-tweezer driven by electro-static force was developed for stable manipulation and assembly of micro devices. The whole system co
【机 构】
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DepartmentofPrecisionMachineryandPrecisionInstrument
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A new type of three-finger micro-tweezer driven by electro-static force was developed for stable manipulation and assembly of micro devices. The whole system consists of micro-tweezers and a specially designed high frequency AC power supply. The free end
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