TiO2 Thin Film UV Detectors Deposited by DC Reactive Magnetron Sputtering

来源 :半导体光子学与技术:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:csnd123
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Crystalline TiO2 thin films were prepared by DC reactive magnetron sputtering on indium-tin oxide(ITO) thin film deposited on quartz substrate, the photoconductive UV detector on TiO2 thin films was based on a sandwich structure of C/ TiO2/ITO. The measur
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