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提出一种基于激光准直五棱镜回转扫描和CCD技术的非接触检测方法,通过检测三块立板平面度来实现对多无限远目标模拟装置光轴共面度的高精度非接触测量。给出误差评定方法,同时对仪器精度进行分析,通过实验测得共面度为0.039mm,满足精度要求。
多无限远目标模拟装置光轴共面测试技术研究
【摘 要】
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提出一种基于激光准直五棱镜回转扫描和CCD技术的非接触检测方法,通过检测三块立板平面度来实现对多无限远目标模拟装置光轴共面度的高精度非接触测量。给出误差评定方法,同
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院,吉林东光精密机械厂
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2010年1期
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