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环形波导等离子体源阻抗特性的研究
环形波导等离子体源阻抗特性的研究
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hntkpop
【摘 要】
:
采用微波三探针研究了环形波导等离子体源阻抗特性随运行参数的变化。分析了微波等离子体源的阻抗特性。该方法有助于微波等离子体特性的和实现快速阻抗调配。
【作 者】
:
苏小保
邬钦崇
【机 构】
:
中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
环形波导
等离子体源
微波阻抗
微波三探针
Annular waveguide plasma source
Microwave impedance
Microw
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采用微波三探针研究了环形波导等离子体源阻抗特性随运行参数的变化。分析了微波等离子体源的阻抗特性。该方法有助于微波等离子体特性的和实现快速阻抗调配。
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