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采用微波三探针研究了环形波导等离子体源阻抗特性随运行参数的变化。分析了微波等离子体源的阻抗特性。该方法有助于微波等离子体特性的和实现快速阻抗调配。
环形波导等离子体源阻抗特性的研究
【摘 要】
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采用微波三探针研究了环形波导等离子体源阻抗特性随运行参数的变化。分析了微波等离子体源的阻抗特性。该方法有助于微波等离子体特性的和实现快速阻抗调配。
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1997年4期
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