【摘 要】
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为确定苯并三唑（BTA）在铜的电解抛光液中的腐蚀抑制作用,研究铜在30%（质量分数）H3PO4＋0.01 mol/L BTA抛光液中的电化学行为,测试铜在该抛光液中的极化曲线以及静态腐蚀量.应用原子
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(50975058);国家重点基础研究发展计划项目(2011CB013202)
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为确定苯并三唑（BTA）在铜的电解抛光液中的腐蚀抑制作用,研究铜在30%（质量分数）H3PO4＋0.01 mol/L BTA抛光液中的电化学行为,测试铜在该抛光液中的极化曲线以及静态腐蚀量.应用原子力显微镜和能谱分析,观测不同阳极电势下静态腐蚀后的铜表面形貌并分析CuBTA膜的形成过程.结果表明,一定阳极电势范围下铜先行溶解,表面粗糙度加大,之后铜离子吸附BTA分子在表面逐渐形成CuBTA覆盖层,铜的溶解速度受到抑制,表面粗糙度稳定于一较低值.为保证CuBTA膜的形成,铜片所加的静态阳极电势应在0.5 V
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