准分子激光晶化制备TFT多晶硅薄膜的研究进展

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Keldorn
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
对准分子激光晶化制备TFT用多晶硅薄膜的研究进展进行了综述。介绍了晶化过程中的超级横向生长现象。主要结合各种基于光束调制和光刻技术的人工控制超级横向生长方法,讨论了获得大晶粒尺寸优质多晶硅薄膜的途径。
其他文献
目的:探讨艾滋病患者多次复发带状疱疹的机制。方法:结合临床观察,总结分析近年来国内外学者关于艾滋病患者多次复发带状疱疹机制的科研成果。结果:由水痘-带状疱疹病毒(VZV)引起
【正】(2010年8月27日)市委办[2010]51号互联网是当今信息量最大、传播速度最快、公众参与度最高的媒体,对经济、政治、文化和社会各个领域的影响日益扩大。为进一步拓宽网络
【正】金政发[2010]45号各县(市、区)人民政府,市政府各部门:为表彰在我市经济建设和社会发展中作出突出贡献的模范先进人物,市人民政府决定授予我市"浙江省五一劳动奖章"获
【正】金政发[2010]46号各县(市、区)人民政府,市政府各部门:近年来,全市各地、各有关部门认真落实各项禁毒职责和任务,依法开展毒品预防教育、缉毒侦查、戒毒康复、社会帮教
【正】市委办[2009]16号各县(市、区)党委和人民政府,市机关各部门、各单位:《金华年鉴》自1997年创刊以来,每年编辑出版一卷,2009年刊为第13卷。为按时保质完成2009版《金华
介绍了一种采用三阶Σ-Δ调制器的分数-N锁相环频率合成器的设计与实现,该设计具有快速锁定和低噪声的优点,其中,调制器采用MASH结构,预分频器采用可编程的分频设计,分频范围
【正】金政发[2010]48号各县(市、区)人民政府,市政府有关部门:根据省政府下达的工作目标任务,现将我市劳动保障工作主要目标任务分解给你们,请结合各地实际,进一步分解细化
《改选》“双百方针”贯彻和整风运动的背景上问世,是对“样版”文化和霸权势力的一次危险的挑战。它和它的作者后来遭到围剿和整肃,是理所当然的事情。但它的成功就体现在它用
【正】金政发[2010]16号各县(市、区)人民政府,市政府有关部门:现将全市2010年外贸进出口和境外投资建议目标下发给你们,请认真研究执行。面临当前金融危机的持续影响和复杂
描写大学“弊政”的长篇小说《大学纪事》,以传统现实主义创作手法,揭示当下中国大学教育中的诸多问题,体现了现实主义所具有的对当代社会的认识功能和批判职能。小说中典型人物